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晶圆检测金相显微镜

作者:hgo 来源:原创 日期:2022-12-6 15:50:20 人气:103

晶圆检测金相显微镜在当下半导体行业应用还是非常广泛的,我们通常称之为晶圆检测系统或晶圆搬送机。

以AWL系列晶圆检测系统为例,晶圆在检测前,汇光科技供应的晶圆检测系统先通过扫码枪识别不同晶圆盒(如:Open Cassette、Metal Cassette、FOUP/FOSB等,然后再进行Notch定位,然后再进行晶圆宏观、微观检查,下面小编简单和大家介绍一下。

●晶圆检测金相显微镜宏观检查

晶圆在微观检测之前,可先宏观检查,设备提供灵活简易的操作控制摇杆,您可多角度倾斜观察晶圆正反面,背面中心,边缘等缺陷,另外由于不同晶圆制造车间灯光环境不同,您可以根据需求选配多种光源,如黄光、白光。


●晶圆检测金相显微镜微观检查

晶圆微观检测,通过专用晶圆检测金相显微镜,支持明场、暗场、DIC、偏光等多种观察方法,您可以轻松观察晶圆短路,断路,沾污,气泡,残留等问题。软件也会输出详细的数据报告。

汇光科技供应的晶圆检测金相显微镜支持全检,奇数检,偶数检,手动选择等,大家可根据需求选择检测方法。另外我司供应晶圆检测金相显微镜除了AWL系列,还包括进口奥林巴斯晶圆检查系统,支持多种尺寸晶圆检测,感兴趣的朋友可先来我司了解详情哦。

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